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位移傳感器的分類和原理
日期:2024-12-19 20:41
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摘要:
位移傳感器又稱為線性傳感器,它分為電感式位移傳感器,電容式位移傳感器,光電式位移傳感器,超聲波式位移傳感器,霍爾式位移傳感器。
電感式位移傳感器是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件,接通電源后,在開關(guān)的感應(yīng)面將產(chǎn)生一個交變磁場,當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時,金屬中則產(chǎn)生渦流而吸取了振蕩器的能量,使振蕩器輸出幅度線性衰減,然后根據(jù)衰減量的變化來完成無接觸檢測物體的目的。
電感式位移傳感器具有無滑動觸點,工作時不受灰塵等非金屬因素的影響,并且低功耗,長壽命,可使用在各種惡劣條件下。位移傳感器主要應(yīng)用在自動化裝備生產(chǎn)線對模擬量的智能控制。
位移是和物體的位置在運動過程中的移動有關(guān)的量,位移的量測方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。小位移通常用應(yīng)變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來檢測,大的位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來量測。其中光柵傳感器因具有易實現(xiàn)數(shù)字化、精度高(目前分辨率*高的可達到納米級)、抗干擾能力強、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點,在機床加工、檢測儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。
原理
計量光柵是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象來量測位移的。“莫爾”原出于法文Moire,意思是水波紋。幾百年前法國絲綢工人發(fā)現(xiàn),當(dāng)兩層薄絲綢疊在一起時,將產(chǎn)生水波紋狀花樣;如果薄綢子相對運動,則花樣也跟著移動,這種奇怪的花紋就是莫爾條紋。一般來說,只要是有一定周期的曲線簇重疊起來,便會產(chǎn)生莫爾條紋。計量光柵在實際應(yīng)用上有透射光柵和反射光柵兩種;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵;按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論。 透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線即柵線,a為刻線寬,b為兩刻線之間縫寬,W=a+b稱為光柵柵距。目前國內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10、25、50、100、250條等線條。光柵的橫向莫爾條紋測位移,需要兩塊光柵。一塊光柵稱為主光柵,它的大小與量測范圍相一致;另一塊是很小的一塊,稱為指示光柵。為了量測位移,必須在主光柵側(cè)加光源,在指示光柵側(cè)加光電接收元件。當(dāng)主光柵和指示光柵相對移動時,由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動,固定在指示光柵側(cè)的光電元件,將光強變化轉(zhuǎn)換成電信號源。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用,使得信號源為脈動信號源。如圖 1,此信號源是一直流信號源和近視正弦的周期信號源的疊加,周期信號源是位移x的函數(shù)。每當(dāng)x變化一個光柵柵距W,信號源就變化一個周期,信號源由b點變化到b’點。由于bb’=W,故b’點的狀態(tài)與b點狀態(tài)完全一樣,只是在相位上增加了2π。
信號源處理
1、辨向原理在實際應(yīng)用中,位移具有兩個方向,即選定一個方向后,位移有正負之分,因此用一個光電元件測定莫爾條紋信號源確定不了位移方向。為了辨向,需要有 π/2相位差的兩個莫爾條紋信號源。如圖2,在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個光電元件,得到兩個相位差π/2的電信號源u01和u02,經(jīng)過整形后得到兩個方波信號源u01’和u02’。光柵正向移動時u01超前u02 90度,反向移動時u02超前u01 90度,故通過電路辨相可確定光柵運動方向。
2、細分技術(shù)隨著對量測精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當(dāng)?shù)拇胧δ獱枟l紋進行細分。所謂細分就是在莫爾條紋信號源變化一個周期內(nèi),發(fā)出若干個脈沖,以減少脈沖當(dāng)量。如一個周期內(nèi)發(fā)出n個脈沖,則可使量測精度提高n備,而每個脈沖相當(dāng)于原來柵距的1/n。由于細分后計數(shù)脈沖頻率提高了 n倍,因此也稱n倍頻。
通常用的有兩種細分方法:其一、直接細分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件,可得到兩個相位差90o的電信號源,用反相器反相后就得到四個依次相差90o的交流信號源。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個相位差90o的交流信號源,實現(xiàn)四倍頻細分。其二、電路細分。
專用集成電路
四倍頻專用集成電路QA740210同時具有辨相和四倍頻細分的功能,可將兩路正交的方波進行四倍頻后產(chǎn)生兩路加、減計數(shù)信號源,可送雙時鐘可逆計數(shù)器進行加、減計數(shù),也可直接送微型計算機(包括單片機)進行數(shù)據(jù)處理。
1、特點:
⑴、數(shù)字化微分電路:4路微分信號源脈寬由主頻周期決定,因此,是一致的,而且可在很大范圍里方便地選擇。
⑵、臨界報警與過速報警兩檔速度提示:可在光柵運動速度接近極限值時給出臨界報警信息,以便操作者及時控制光柵運動快慢。在速度超過極限值時本電路將給出出錯信息。
⑶、**零位控制:**零位的設(shè)置將給操作者帶來許多方便,如故障斷電后的重新定位等。本電路有“到**零位開始計數(shù)”和“到**零位停止計數(shù)”,以及“與**零位無關(guān)”三種工作模式。
⑷、片選:本電路設(shè)有片選端,可以構(gòu)成多標(biāo)數(shù)顯系統(tǒng)。
⑸、COMS工藝:輸入輸出的電壓電流與4000系列CMOS及LSTTL電路兼容。
電感式位移傳感器是一種屬于金屬感應(yīng)的線性器件,接通電源后,在開關(guān)的感應(yīng)面將產(chǎn)生一個交變磁場,當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時,金屬中則產(chǎn)生渦流而吸取了振蕩器的能量,使振蕩器輸出幅度線性衰減,然后根據(jù)衰減量的變化來完成無接觸檢測物體的目的。
電感式位移傳感器具有無滑動觸點,工作時不受灰塵等非金屬因素的影響,并且低功耗,長壽命,可使用在各種惡劣條件下。位移傳感器主要應(yīng)用在自動化裝備生產(chǎn)線對模擬量的智能控制。
位移是和物體的位置在運動過程中的移動有關(guān)的量,位移的量測方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。小位移通常用應(yīng)變式、電感式、差動變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來檢測,大的位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來量測。其中光柵傳感器因具有易實現(xiàn)數(shù)字化、精度高(目前分辨率*高的可達到納米級)、抗干擾能力強、沒有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點,在機床加工、檢測儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。
原理
計量光柵是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象來量測位移的。“莫爾”原出于法文Moire,意思是水波紋。幾百年前法國絲綢工人發(fā)現(xiàn),當(dāng)兩層薄絲綢疊在一起時,將產(chǎn)生水波紋狀花樣;如果薄綢子相對運動,則花樣也跟著移動,這種奇怪的花紋就是莫爾條紋。一般來說,只要是有一定周期的曲線簇重疊起來,便會產(chǎn)生莫爾條紋。計量光柵在實際應(yīng)用上有透射光柵和反射光柵兩種;按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵;按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論。 透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線即柵線,a為刻線寬,b為兩刻線之間縫寬,W=a+b稱為光柵柵距。目前國內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10、25、50、100、250條等線條。光柵的橫向莫爾條紋測位移,需要兩塊光柵。一塊光柵稱為主光柵,它的大小與量測范圍相一致;另一塊是很小的一塊,稱為指示光柵。為了量測位移,必須在主光柵側(cè)加光源,在指示光柵側(cè)加光電接收元件。當(dāng)主光柵和指示光柵相對移動時,由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動,固定在指示光柵側(cè)的光電元件,將光強變化轉(zhuǎn)換成電信號源。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用,使得信號源為脈動信號源。如圖 1,此信號源是一直流信號源和近視正弦的周期信號源的疊加,周期信號源是位移x的函數(shù)。每當(dāng)x變化一個光柵柵距W,信號源就變化一個周期,信號源由b點變化到b’點。由于bb’=W,故b’點的狀態(tài)與b點狀態(tài)完全一樣,只是在相位上增加了2π。
信號源處理
1、辨向原理在實際應(yīng)用中,位移具有兩個方向,即選定一個方向后,位移有正負之分,因此用一個光電元件測定莫爾條紋信號源確定不了位移方向。為了辨向,需要有 π/2相位差的兩個莫爾條紋信號源。如圖2,在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個光電元件,得到兩個相位差π/2的電信號源u01和u02,經(jīng)過整形后得到兩個方波信號源u01’和u02’。光柵正向移動時u01超前u02 90度,反向移動時u02超前u01 90度,故通過電路辨相可確定光柵運動方向。
2、細分技術(shù)隨著對量測精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿足要求,需要采取適當(dāng)?shù)拇胧δ獱枟l紋進行細分。所謂細分就是在莫爾條紋信號源變化一個周期內(nèi),發(fā)出若干個脈沖,以減少脈沖當(dāng)量。如一個周期內(nèi)發(fā)出n個脈沖,則可使量測精度提高n備,而每個脈沖相當(dāng)于原來柵距的1/n。由于細分后計數(shù)脈沖頻率提高了 n倍,因此也稱n倍頻。
通常用的有兩種細分方法:其一、直接細分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個光電元件,可得到兩個相位差90o的電信號源,用反相器反相后就得到四個依次相差90o的交流信號源。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個相位差90o的交流信號源,實現(xiàn)四倍頻細分。其二、電路細分。
專用集成電路
四倍頻專用集成電路QA740210同時具有辨相和四倍頻細分的功能,可將兩路正交的方波進行四倍頻后產(chǎn)生兩路加、減計數(shù)信號源,可送雙時鐘可逆計數(shù)器進行加、減計數(shù),也可直接送微型計算機(包括單片機)進行數(shù)據(jù)處理。
1、特點:
⑴、數(shù)字化微分電路:4路微分信號源脈寬由主頻周期決定,因此,是一致的,而且可在很大范圍里方便地選擇。
⑵、臨界報警與過速報警兩檔速度提示:可在光柵運動速度接近極限值時給出臨界報警信息,以便操作者及時控制光柵運動快慢。在速度超過極限值時本電路將給出出錯信息。
⑶、**零位控制:**零位的設(shè)置將給操作者帶來許多方便,如故障斷電后的重新定位等。本電路有“到**零位開始計數(shù)”和“到**零位停止計數(shù)”,以及“與**零位無關(guān)”三種工作模式。
⑷、片選:本電路設(shè)有片選端,可以構(gòu)成多標(biāo)數(shù)顯系統(tǒng)。
⑸、COMS工藝:輸入輸出的電壓電流與4000系列CMOS及LSTTL電路兼容。